荏原开发了一种可用于半导体产线的无汞臭氧监测仪

  该公司开发、规划、制作和保护正确运用臭氧所需的臭氧监测仪，以及结合了预处理体系和臭氧监测仪的臭氧浓度丈量设备，以便在各种条件下进行准确丈量。 它被用于许多范畴，例如供水和污水处理设备的先进处理工艺以及半导体工厂的制作工艺。 为了应对社会对环境的日益重视，新开发的产品组的特色是选用UV-LED作为光源，在完成无汞运用的一起，完成高精度丈量。

  第一类新产品是EG-3100系列，这是一款用于水和污水处理设备的高精度臭氧监测仪，它不含汞，并选用公司共同的发光校对技能，完成了与低压汞灯相同的精度。 除了供给包括水净化过程中臭氧处理中所有气体丈量点的产品阵型外，该公司还完成了高精度和高分辨率，因此能使用于研制使用。

  第二种是EG-690，这是一款用于半导体制作工艺的在线系列相同，不含汞，并到达与低压汞灯产品相同的精度。 此外，它具有占地面积小的特色，能够在线安装在半导体制作工艺（生产线）的臭氧气体管道中，适用于设备嵌入。